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大宗气体

​产品 纯度 指标
超纯氦 6N O2+Ar≤0.1；N2≤0.1；CO≤0.1；CO2≤0.1；H2O≤0.2；CH4≤0.1;；Ne≤1； H2≤0.1
超纯氧 6N Ar≤0.2；N2≤0.1；CO2≤0.1；H2O≤0.5；CH4≤0.1；H2≤0.1
超纯氩 6N O2≤0.2；N2≤0.5；CO≤0.1；CO2≤0.1；H2O≤0.2；CH4≤0.1；H2≤0.1
超纯氮 6N O2≤0.1；Ar≤2；CO≤0.1；CO2≤0.1；H2O≤0.5；CH4≤0.1；H2≤0.1
超纯氢 6N O2+Ar≤0.2；N2≤0.4；CO≤0.1；CO2≤0.1；H2O≤0.5；CH4≤0.2